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真空爐FB系列 安裝了EGR冷卻器、散熱器、蒸發(fā)器等各種熱交換器的真空爐設(shè)備。公司開發(fā)了從批次式到連續(xù)爐的豐富產(chǎn)品系列。同時(shí)面向特殊用途的設(shè)備定制。

小型凍結(jié)真空干燥設(shè)備DFM系列 醫(yī)藥域的少量生產(chǎn)以及，實(shí)驗(yàn)用凍結(jié)真空干燥設(shè)備。具有省空間、低價(jià)格、高功能等實(shí)驗(yàn)用途要求。為了滿足這樣的需求，愛(ài)發(fā)科商品化了DFM系列設(shè)備。

自動(dòng)氦檢漏設(shè)備ALT·S系列（SUPER ALT）使用He作為檢知?dú)怏w的設(shè)備。應(yīng)用ULVAC技術(shù)，運(yùn)用全新機(jī)構(gòu)，使得省空間、高速、全自動(dòng)處理成為可能。

真空蒸餾設(shè)備CEH系列 該設(shè)備的用途是真空蒸餾處理?？稍谡婵障碌蜏囟虝r(shí)間蒸餾熱感受性高的物質(zhì)（熱分解·重重合的物質(zhì)）。具有非常優(yōu)異的分離效率。

PFS系列是SiC工藝等高溫處理工藝中，配合使用的退火設(shè)備?？勺畲髮?duì)應(yīng)φ 150mm。

Batch式高真空蒸發(fā)設(shè)備ei系列是可對(duì)應(yīng)在基板上成金屬膜或氧化物膜的設(shè)備?？赏ㄟ^(guò)操作面板實(shí)現(xiàn)抽真空、成膜等作業(yè)內(nèi)容的集中自動(dòng)化操作，適用于研究開發(fā)及少量生產(chǎn)。