Batch式高真空蒸發(fā)設(shè)備

簡要描述：Batch式高真空蒸發(fā)設(shè)備ei系列是可對(duì)應(yīng)在基板上成金屬膜或氧化物膜的設(shè)備。可通過操作面板實(shí)現(xiàn)抽真空、成膜等作業(yè)內(nèi)容的集中自動(dòng)化操作，適用于研究開發(fā)及少量生產(chǎn)。

產(chǎn)品型號(hào)：ei系列
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2024-09-04
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1. 產(chǎn)品概述

Batch式高真空蒸發(fā)設(shè)備ei系列是可對(duì)應(yīng)在基板上成金屬膜或氧化物膜的設(shè)備?？赏ㄟ^操作面板實(shí)現(xiàn)抽真空、成膜等作業(yè)內(nèi)容的集中自動(dòng)化操作，適用于研究開發(fā)及少量生產(chǎn)。

2. 設(shè)備用途/原理

Power Device等化合物相關(guān)。LED、LD、高速device。各種實(shí)驗(yàn)用。其他各種電子部件。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

可搭載多樣蒸發(fā)源（EB、電阻式、EB+電阻式）。對(duì)應(yīng)不同制程可選多種基板holder（lift-off、行星式、衛(wèi)星式等）。φ2 in? 6 in基板、矩形基板、Si、化合物、glass、陶瓷燈各種基板對(duì)應(yīng)。液晶觸控板集中現(xiàn)實(shí)操作。集成電腦擁有優(yōu)異的操作性和性能（recipe功能、data-logging、maintenance assistant功能）。

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