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簡要描述:自動氦檢漏設備ALT·S系列(SUPER ALT)使用He作為檢知氣體的設備。應用ULVAC技術,運用全新機構,使得省空間、高速、全自動處理成為可能。
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1 產(chǎn)品概述:
自動氦檢漏設備,特別是氦質譜檢漏儀,是一種高精度、高靈敏度的氣體泄漏檢測設備。它利用氦氣作為示蹤氣體,通過質譜儀分析技術,能夠迅速定位并測量封閉設備或系統(tǒng)中的微小泄漏。這類設備廣泛應用于多個領域,如半導體制造、航空航天、制冷空調、汽車制造、真空技術、核工業(yè)以及醫(yī)療設備等,確保產(chǎn)品和系統(tǒng)的密封性能達到要求。
2 設備用途:
半導體制造:用于檢測封裝、真空腔體、氣路系統(tǒng)等是否存在漏氣,確保產(chǎn)品質量。
航空航天:檢測航天器和火箭的燃料系統(tǒng)、生命支持系統(tǒng)、熱控系統(tǒng)等關鍵部位的微小泄漏,保障飛行安全。
制冷空調:檢測蒸發(fā)器、冷凝器、管路等部件的漏氣問題,提高系統(tǒng)性能。
汽車制造:檢測空調系統(tǒng)、燃油系統(tǒng)、制動系統(tǒng)等關鍵系統(tǒng)的泄漏,確保汽車的安全性和可靠性
3 設備特點
高靈敏度:自動氦檢漏設備能夠快速發(fā)現(xiàn)和定位極小的泄漏點,甚至能檢測到極低濃度的氦氣,這是其最為突出的特點之一。
高精度:通過精確的質譜分析技術,設備能夠準確測量氦氣的濃度,從而精確定位泄漏點,提高檢測的準確性。
檢測范圍廣:適用于多種設備和系統(tǒng)的泄漏檢測,包括但不限于上述提到的領域。
4 技術參數(shù)和特點:
• 測試臺上采用了旋轉機構,使得工件裝卸作業(yè)時間減半。
• 由于He氣體封入工藝和檢漏工藝分別在不同的地方進行,可以大幅縮短處理時間。
• 搭載He檢漏儀【HELIOT-ZERO】,可確認真空排氣中從檢查品漏出的He氣體。
• 因為可高速處理,可減少測試腔體數(shù),節(jié)省空間。
• 可減少一個腔體,作業(yè)位置無需移動,提高作業(yè)效率。
• 設備模塊化,現(xiàn)地安裝時間可以縮短。
• 由于泵可從設備本體中單獨取出的構造,方便進行修理。
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