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HORIC D200系列 擴(kuò)散/氧化系統(tǒng),半導(dǎo)體客戶端機(jī)臺(tái)裝機(jī)量大,可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機(jī)臺(tái),安全性能高:設(shè)備及所使用的元件符合國(guó)標(biāo)和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。
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APS系列 感應(yīng)式碳化硅長(zhǎng)晶爐,適用于 6 英寸、8 英寸,導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長(zhǎng)。
Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng),加熱分區(qū)設(shè)計(jì),具備良好的溫度均勻性。