感應(yīng)式碳化硅長晶爐

簡要描述：APS系列感應(yīng)式碳化硅長晶爐，適用于 6 英寸、8 英寸，導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

產(chǎn)品型號：APS系列
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-09-05
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1. 產(chǎn)品概述

APS系列 感應(yīng)式碳化硅長晶爐，適用于 6 英寸、8 英寸，導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

2. 設(shè)備用途/原理

APS系列 感應(yīng)式碳化硅長晶爐，適用于 6 英寸、8 英寸，導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)設(shè)計，提供高純材料生長能力。智能的運(yùn)行 / 監(jiān)控系統(tǒng)，適于長時間 / 高溫 / 低壓工藝，拓寬高質(zhì)量 / 大規(guī)模晶體生長窗口。包含多款輔助設(shè)備：大產(chǎn)能原料合成爐、晶錠退火爐、氮化鋁長晶爐及其他定制化設(shè)備。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶體尺寸 6、8 英寸，加熱方式感應(yīng)加熱，適用材料碳化硅、氮化鋁，適用工藝物理氣相輸運(yùn)法（PVT 法），適用域科研、化合物半導(dǎo)體。