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當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  其他前道工藝設(shè)備  >  6 清洗設(shè)備

  • KS-CM300/200單片式化學(xué)清洗機(jī)

    KS-CM300/200 單片式化學(xué)清洗機(jī)適用于沉積前清洗、蝕刻后清洗、離子注入后清洗、CMP后清洗等多種前段工藝(FEOL)和后段工藝(BEOL)清洗進(jìn)程,可適配高溫SPM工藝,工藝覆蓋率達(dá)80%以上;搭載獨(dú)立開發(fā)的新一代高清洗效率低損傷射流噴嘴,潔凈度達(dá)到先進(jìn)制程所需水平。

    更新時(shí)間:2024-09-06
    型號(hào):KS-CM300/200
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:223
  • UV-300HC紫外線臭氧清洗設(shè)備

    UV-300HC紫外線臭氧清洗設(shè)備是一款高性能的盒式裝載UV臭氧清洗機(jī),用于生產(chǎn)。這個(gè)行業(yè)先的系統(tǒng)有2個(gè)裝載盒,可以達(dá)到200-300nm/min的高灰化率。該系統(tǒng)利用紫外線照射、高濃度臭氧和可控階段加熱的組合,溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體(GaN、SiC、GaAs和InP)、藍(lán)寶石、陶瓷等各種基材上的有機(jī)物。

    更新時(shí)間:2024-09-04
    型號(hào):UV-300HC
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:232
  • UV-300H紫外線臭氧清洗機(jī)

    UV-300H是一款高性能的緊湊型紫外線臭氧清洗機(jī)。通過滑動(dòng)抽屜將基材裝入系統(tǒng)中。紫外線照射、高濃度臭氧和階段性加熱的組合,可溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體(GaN、SiC、GaAs、InP)、藍(lán)寶石、陶瓷等各種基材上的有機(jī)物。

    更新時(shí)間:2024-09-06
    型號(hào):UV-300H
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:217
  • UV-1紫外線臭氧清洗機(jī)

    UV-1是一款緊湊型臺(tái)式紫外線臭氧清洗機(jī)。該系統(tǒng)將紫外線照射、臭氧和平臺(tái)加熱結(jié)合在一起,溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體(GaN、GaAs、InP、SiC)、藍(lán)寶石、陶瓷等各種基材上的有機(jī)物。

    更新時(shí)間:2024-09-06
    型號(hào):UV-1
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:220
  • PC-300等離子清洗設(shè)備

    PC-300等離子清洗設(shè)備是一種平行板式等離子清洗機(jī),用于清洗樣品表面的有機(jī)和無機(jī)污染。 該工藝室允許用戶安裝多個(gè)電架,架式電配置的靈活性支持從研究到小批量生產(chǎn)的各種產(chǎn)品的批量處理。

    更新時(shí)間:2024-09-06
    型號(hào):PC-300
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:213
  • PC-1100等離子清洗設(shè)備

    PC-1100是一種平行板式等離子清洗機(jī),用于清洗樣品表面的有機(jī)和無機(jī)污染。 該工藝室允許用戶安裝多個(gè)電架,架式電配置的靈活性支持從小型電子元件到大型基板等多種產(chǎn)品的批量處理。

    更新時(shí)間:2024-09-04
    型號(hào):PC-1100
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:298
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