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簡(jiǎn)要描述:PC-1100是一種平行板式等離子清洗機(jī),用于清洗樣品表面的有機(jī)和無(wú)機(jī)污染。該工藝室允許用戶安裝多個(gè)電架,架式電配置的靈活性支持從小型電子元件到大型基板等多種產(chǎn)品的批量處理。
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1. 產(chǎn)品概述
PC-1100是一種平行板式等離子清洗機(jī),用于清洗樣品表面的有機(jī)和無(wú)機(jī)污染。
該工藝室允許用戶安裝多個(gè)電架,架式電配置的靈活性支持從小型電子元件到大型基板等多種產(chǎn)品的批量處理。
2. 設(shè)備特點(diǎn)
大加工尺寸為400mm x 400mm。靈活的架式電可以在RIE或等離子體蝕刻模式下處理各種樣品。工藝室可配置多個(gè)大型加工架,以滿足大批量生產(chǎn)的要求。全自動(dòng) "一鍵式 "操作,可手動(dòng)操作。帶觸摸屏的PLC控制器提供直觀的圖形界面。干式泵和系統(tǒng)布局便于維護(hù)。可靠、耐用的系統(tǒng),全球安裝了150多個(gè)系統(tǒng)。
塑料包裝和引線框架的表面清潔。光學(xué)元件和模具的精密清洗。表面改性(潤(rùn)濕性和附著力的改善。光阻劑的灰化、剝離和除塵。清除有機(jī)污染物。
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