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多角度激光橢偏儀 SE 400adv PV 在 HeNe 激光波長為 632.8 nm 時，在紋理單晶和多晶硅片上提供抗反射單膜的膜厚度和折射率?？筛鼡Q晶圓支架允許在多晶硅片和堿性紋理單晶硅片上進(jìn)行測量。

SENTECH RM 1000 QC反射儀設(shè)計用于快速簡單地測量透明或吸收基材上的透明和半透明薄膜的厚度，用于工業(yè)生產(chǎn)過程中的質(zhì)量控制。該工具涵蓋 20 nm 至 50 μm 的膜厚范圍，可用于 100 μm 的測試圖案。

SENTECH SENDURO®MEMS 提供配置靈活性，以滿足生產(chǎn)控制和質(zhì)量控制的要求。該工具可以配置反射法和橢圓偏振法中的μ點測量，以及提供準(zhǔn)確測量位置的模式識別。所有測量都可以與邊緣抓取技術(shù)相結(jié)合。

SpectraRay/4 是 SENTECH 專有的光譜橢圓偏振儀軟件，包括橢圓、反射和透射數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)采集、建模、擬合和擴展報告。它支持可變角度、多實驗和組合光度測量。 包括一個基于 SENTECH 厚度測量和文獻(xiàn)數(shù)據(jù)的龐大而全面的材料數(shù)據(jù)庫。大量的色散模型允許對幾乎任何類型的材料進(jìn)行建模。

SENTECH SENDIRA 專為紅外 （FTIR） 而設(shè)計。這款緊湊的臺式儀器包括吹掃橢偏儀光學(xué)元件、計算機控制的測角儀、水平樣品平臺、自動準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡、商用 FTIR 和 DTGS 或 MCT 檢測器。FTIR 在 400 cm-1 至 6,000 cm-1 （1.7 μm – 25 μm） 的光譜范圍內(nèi)提供出色的精度和高分辨率。

定制基于靈活模塊的 150 mm 探針臺 FormFactor為150 mm探針臺引入了新的模塊化概念。這將使您更容易以令人難以置信的價格配置個性化探頭解決方案，以滿足當(dāng)前和未來的需求。只需選擇一個基站，并根據(jù)需要添加任意數(shù)量的特定應(yīng)用入門套件。