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SENTECH SENpro 橢圓偏振光譜儀具有操作簡單、測量速度快、不同入射角橢偏振測量的組合數(shù)據(jù)分析等特點(diǎn)。它的測量光譜范圍為 370 nm 至 1,050 nm。該工具的光譜范圍與先進(jìn)的軟件 SpectraRay/4 相結(jié)合，可以輕松確定單片薄膜和復(fù)雜層疊的厚度和折射率。

SENTECH SENresearch 4.0 使用快速 FTIR 橢圓偏振法分別測量高達(dá) 2,500 nm 或 3,500 nm 的近紅外光譜。它提供最寬的光譜范圍、最佳的信噪比和最高的可選光譜分辨率?？梢詼y量厚度達(dá) 200 μm 的硅膜。FTIR橢圓偏振儀的測量速度與二極管陣列配置相比，二極管陣列配置也可選擇高達(dá)1,700 nm。

SENTECH SE 500adv結(jié)合了橢圓偏振法和反射法，消除了測量透明薄膜層厚的模糊性。它將可測量的厚度擴(kuò)展到 25 μm。因此，SE 500adv 擴(kuò)展了標(biāo)準(zhǔn)激光橢偏儀 SE 400adv 的功能，特別適用于分析較厚的電介質(zhì)、有機(jī)材料、光刻膠、硅和多晶硅薄膜。

FTPadv Expert薄膜測量軟件具有FTPadv標(biāo)準(zhǔn)軟件中包含的用戶友好和以配方為導(dǎo)向的操作概念。突出顯示擬合參數(shù)、測量和計(jì)算的反射光譜以及主要結(jié)果的光學(xué)模型同時(shí)顯示在操作屏幕上。

FTPadv是一種經(jīng)濟(jì)高效的臺式光譜反射解決方案，具有快速厚度測量功能。測量時(shí)間不到 100 ms，精度低于 0.3 nm，膜厚范圍為 50 nm – 25 μm。包括一系列預(yù)定義的配方，便于光譜反射儀操作

RM 1000 和 RM 2000 光譜反射儀可測量表面光滑或粗糙的平面或彎曲樣品的反射率。使用SENTECH FTPadv Expert軟件計(jì)算單膜或?qū)盈B的厚度、消光系數(shù)和折射率。厚度分別為 2 nm 和 50 μm （RM 2000） 或 100 μm （RM 1000） 的單片、層疊和基板可以在 UV-VIS-NIR 光譜范圍內(nèi)進(jìn)行分析。