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PVA TePla 超聲掃描顯微鏡SAM Premium系列結(jié)合了聲學(xué)顯微鏡和光學(xué)顯微鏡。它使超聲掃描平臺與倒置光學(xué)顯微鏡或反射式光學(xué)顯微鏡相結(jié)合。SAM Premium系列所使用的技術(shù)是以融合了生產(chǎn)和研究技術(shù)的核心平臺為基礎(chǔ)。SAM Premium系列旗下各個系統(tǒng)均具有高產(chǎn)量、高靈活性和寬廣的掃描范圍等特性。此外，各系統(tǒng)還可以根據(jù)客戶的要求進(jìn)行擴(kuò)展，并用于多樣化的應(yīng)用。

PVA TePla SAM 全自動系列的全自動超聲波掃描顯微鏡能夠無損檢測空洞、空隙、氣泡、夾雜物和分層，是圓檢測、焊接界面檢查、MEMS檢測、以及各類電子封裝檢測的理想選擇。該系列配有自動缺陷檢測軟件包，可對各種缺陷類型進(jìn)行全自動化評估，檢測結(jié)果可以以klarf文件和VEGA MAP的形式發(fā)布，同時支持鏈接GEM/SECS。根據(jù)所需分析樣品，可以選擇不同掃描儀配置，如：4×1、4×2或4×4。

PVA TePla SAM系列的超聲波掃描顯微鏡使用簡單，操作方便，是一款用于過程控制和質(zhì)量保證，以及研究應(yīng)用的無損檢測設(shè)備。SAM系列旗下各型號均統(tǒng)一由一個符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的組件平臺衍生而來，在此基礎(chǔ)上，再融入了先進(jìn)的生產(chǎn)和制造技術(shù)。

KOSAKA LAB ET 200A微型輪廓儀（光學(xué)檢測）是株式會社小坂研究所的高精度微細(xì)形狀測定機(jī)，基于Windows系統(tǒng)，采用金剛石探針接觸測量，適用于多種材料表面形貌分析，如臺階、粗糙度等，配備多樣探針，操作直觀便捷，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電等領(lǐng)域。