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簡要描述:主要用于對硅材料行業(yè)中多晶硅塊進行清洗干燥處理
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1. 產(chǎn)品概述:
英思特全自動硅料清洗機是一種高度自動化的設備,專門用于硅料的清洗處理。它通過一系列精確設計的工藝流程和先進的技術,能夠高效地去除硅料表面的雜質(zhì)、污垢和污染物,以滿足半導體制造等對硅料高純度的要求。該清洗機通常由多個功能模塊組成,包括上料系統(tǒng)、清洗槽、漂洗槽、干燥系統(tǒng)等,各部分協(xié)同工作,實現(xiàn)硅料從進料到出料的全自動化清洗過程。
2. 設備應用:
· 半導體產(chǎn)業(yè):在半導體芯片制造的前端工序中,對硅晶圓等硅料進行清洗,為后續(xù)的光刻、刻蝕、鍍膜等工藝提供潔凈的硅料表面,確保芯片的性能和質(zhì)量。例如,在制造集成電路的過程中,硅料表面的任何微小雜質(zhì)都可能導致芯片缺陷,因此需要高精度的清洗。
· 光伏產(chǎn)業(yè):用于光伏電池生產(chǎn)中硅片的清洗,去除硅片表面的雜質(zhì)和污染物,提高硅片的光電轉換效率。比如,高效太陽能電池的生產(chǎn)對硅片的潔凈度要求很高,全自動硅料清洗機能夠滿足這一需求。
3. 設備特點:
· 高度自動化:從上料到清洗、漂洗、干燥再到下料,整個過程實現(xiàn)全自動化控制,無需人工干預,大大提高了生產(chǎn)效率,降低了人工成本,同時也減少了人為因素對清洗質(zhì)量的影響。
· 定制化設計:可根據(jù)客戶的具體需求和生產(chǎn)工藝進行定制化設計,滿足不同規(guī)格、不同類型硅料的清洗要求,以及與不同生產(chǎn)設備和生產(chǎn)線的無縫對接。
· 高效清洗能力:采用先進的清洗技術和優(yōu)化的清洗工藝,能夠快速、有效地去除硅料表面的各種雜質(zhì),確保清洗后的硅料表面潔凈度達到很高標準,為后續(xù)的生產(chǎn)工藝提供優(yōu)質(zhì)的基礎。
· 精確的工藝控制:配備高精度的傳感器和先進的控制系統(tǒng),能夠?qū)η逑催^程中的各項參數(shù)(如溫度、時間、溶液濃度等)進行精確控制和實時監(jiān)測,保證清洗工藝的穩(wěn)定性和一致性。
· 可靠的質(zhì)量和穩(wěn)定性:選用優(yōu)質(zhì)的材料和零部件,經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測和驗證,確保設備具有良好的耐用性和穩(wěn)定性,能夠在長時間的連續(xù)工作中保持穩(wěn)定的性能和可靠的運行。
· 節(jié)能環(huán)保:在設計和制造過程中注重節(jié)能環(huán)保,采用高效的能源利用方式和環(huán)保的清洗溶液處理方法,降低設備運行對環(huán)境的影響。
4. 產(chǎn)品參數(shù)(以部分為例):
以下參數(shù)僅供參考,實際參數(shù)可能因定制化需求和設備型號而有所不同。
· 清洗槽數(shù)量:通常有多個清洗槽,如 3 - 5 個,分別用于不同的清洗步驟(如預清洗、主清洗、精清洗等)。
· 清洗方式:可包括浸泡式清洗、噴淋式清洗、超聲波清洗等多種方式相結合。
· 處理能力:每小時能夠處理一定量的硅料,例如 50 - 200 千克 / 小時。
· 溫度控制范圍:清洗槽的溫度可在一定范圍內(nèi)精確控制,如 30 - 80℃。
· 溶液循環(huán)系統(tǒng):具備高效的溶液循環(huán)和過濾系統(tǒng),確保清洗溶液的清潔度和有效性。
· 設備尺寸:根據(jù)生產(chǎn)場地和需求,設備的外形尺寸可能有所不同,一般長度在 2 - 5 米,寬度在 1 - 2 米,高度在 1.5 - 2.5 米。
· 電源要求:通常需要三相交流電,電壓如 380V,頻率 50Hz,功率根據(jù)設備型號和配置而定,一般在 10 - 30kW 之間。
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