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當(dāng)前位置：首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  其他前道工藝設(shè)備  >  10 其他  >  IVG-2020/3020半自動(dòng)單軸減薄機(jī)

半自動(dòng)單軸減薄機(jī)

簡(jiǎn)要描述：半自動(dòng)單軸減薄機(jī)是一款操作簡(jiǎn)單、功能豐富、性價(jià)比高的高精度研削設(shè)備，采用手動(dòng)裝片方式，配置自動(dòng)厚度測(cè)量和補(bǔ)償系統(tǒng)，可自動(dòng)研削至目標(biāo)值。工作臺(tái)可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化，應(yīng)用廣泛。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：IVG-2020/3020
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間：2024-08-13
  • 訪  問(wèn)  量： 190

詳細(xì)介紹

半自動(dòng)單軸減薄機(jī)是一款操作簡(jiǎn)單、功能豐富、性價(jià)比高的高精度研削設(shè)備，采用手動(dòng)裝片方式，配置自動(dòng)厚度測(cè)量和補(bǔ)償系統(tǒng)，可自動(dòng)研削至目標(biāo)值。工作臺(tái)可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化，應(yīng)用廣泛。

功能全面

自動(dòng)厚度測(cè)量 多段研削程序 超負(fù)載等待

操作靈活

人工取放片 干進(jìn)濕出

兼容性好

可磨削各類半導(dǎo)體材料 適應(yīng)2-12英寸晶圓減薄




性能參數(shù)

項(xiàng)目IVG-2020IVG-3020
最大晶圓尺寸8 英寸12 英寸
砂輪規(guī)格?203(OD)mm?303(OD)mm
砂輪軸功率6.0kW9.5kW
砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍0~6000 RPM0~4000 RPM
工作臺(tái)轉(zhuǎn)速0~380 RPM0~380 RPM
Z軸進(jìn)給速度0.1~1000 um /sec0.1~1000 um /sec
厚度在線測(cè)量范圍（OMM）0-4800um0-4800um
厚度在線測(cè)量重復(fù)精度±0.001 mm±0.001 mm
NCG非接觸實(shí)時(shí)測(cè)厚系統(tǒng)可選配可選配




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