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簡要描述:TCO激光劃線設備ULT-1400本設備通過近紅外脈沖激光燒蝕法除去玻璃基板上成膜的透明電(TCO)膜,是一種枚用式激光劃線設備。本設備由6個IR激光法陣器和光學系統(tǒng)、Bridge式XY平臺(X軸:下軸、Y軸:上軸)、基板搬送機構、集塵機、激光測定機構和控制系統(tǒng)構成。采用光纖激光和花崗巖平臺,可實現(xiàn)高精度高穩(wěn)定性。
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1 產(chǎn)品概述:
TCO激光劃線設備是一種專門用于在玻璃基板上成膜的透明導電氧化物(TCO)膜上進行劃線處理的激光設備。它采用近紅外脈沖激光燒蝕法,通過精確控制激光束的能量和位置,在TCO膜上形成所需的劃線圖案。該設備由多個關鍵部件組成,包括IR激光器陣列、光學系統(tǒng)、Bridge式XY平臺、基板搬送機構、集塵機、激光測定機構和控制系統(tǒng)等,共同實現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性的劃線作業(yè)。
2 設備用途:
TCO激光劃線設備的主要用途包括但不限于以下幾個方面:
薄膜太陽能電池制造:在薄膜太陽能電池的生產(chǎn)過程中,TCO層作為透明導電層,其上的劃線處理對于電池的性能和效率具有重要影響。TCO激光劃線設備能夠精確地在TCO層上劃線,形成電池單元之間的隔離,提高電池的轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。
鈣鈦礦電池制造:在鈣鈦礦電池的制造過程中,TCO層同樣扮演著重要角色。TCO激光劃線設備可用于在TCO層上進行劃線,以形成串聯(lián)結構的子電池單元,并為后續(xù)工藝步驟(如電極蒸鍍)提供必要的通道和分隔。
其他透明導電膜層處理:除了TCO膜外,TCO激光劃線設備還可用于處理其他類型的透明導電膜層,如ITO(銦錫氧化物)等,在電子器件、光電器件等領域具有廣泛的應用前景。
3 設備特點
TCO激光劃線設備具有以下幾個顯著特點:
高精度:采用光纖激光和花崗巖平臺等高精度部件,確保劃線作業(yè)的精度和穩(wěn)定性。激光束的能量和位置可精確控制,實現(xiàn)微米級別的劃線精度。
高穩(wěn)定性:設備設計有獨立的激光位置控制系統(tǒng)和激光輸出自動測定、校準功能,確保長時間運行的穩(wěn)定性和可靠性。
高效率:節(jié)拍時間短,能夠快速完成劃線作業(yè),提高生產(chǎn)效率。同時,設備支持連續(xù)在線工作,滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求。
多功能性:不僅適用于TCO膜的劃線處理,還可擴展到其他透明導電膜層的處理領域,具有廣泛的應用范圍。
4 技術參數(shù)和特點:
•搭載6臺結合二管的IR激光器
激光由光纖傳輸,脈沖波幅可變
•簡單而高穩(wěn)定性的光學系統(tǒng)
•花崗巖制XY平臺
高精度、低熱變動
•獨立激光位置控制
全部的IR激光器獨立搭載在Y、Z軸上
•激光輸出自動測定、校準功能
•節(jié)拍時間 < 90 sec
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