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單面拋光機(jī)是一款操作簡(jiǎn)單,兼容性強(qiáng),搭配不同盤(pán)配合相應(yīng)的液可實(shí)現(xiàn)多種半導(dǎo)體材料高精度拋光設(shè)備,拋光盤(pán)可定制,根據(jù)量產(chǎn)要求多種規(guī)格可選。
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雙面拋光機(jī)分為雙面機(jī)械拋光和雙面化學(xué)拋光兩種,分別代表雙面拋光的粗加工和精加工。主要用于晶片的表面拋光,操作簡(jiǎn)單,搭配不同的夾具,拋光墊,拋光液可以實(shí)現(xiàn)不同材料,不同尺寸,不同厚度的晶片拋光。
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