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離子研磨系統(tǒng) 產(chǎn)品概述： 為了對(duì)樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行觀察、分析，必須讓樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)顯露出來(lái)，日立離子研磨裝置使用大面積低能量的Ar離子束，加工出無(wú)應(yīng)力損傷的截面，為SEM觀察樣品的內(nèi)部多層結(jié)構(gòu)、結(jié)晶狀態(tài)、 異物解析、層厚測(cè)量等提供有效的前處理方法。

半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀概述：配備集成電腦及顯示屏一體機(jī)箱，包含高精度電流測(cè)量模塊、電容測(cè)量模塊、超快脈沖模塊，配合專用數(shù)據(jù)測(cè)量分析軟件，無(wú)需外接其他儀表即可實(shí)現(xiàn)I-V曲線，I-t曲線，C-V曲線及C-f曲線的測(cè)量并能在屏幕實(shí)時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果。具有瞬態(tài)波形捕獲模式和任意波形發(fā)生器，支持多電平脈沖波形，可編程分辨率10 ns 。

掃描隧道顯微鏡 技術(shù)優(yōu)勢(shì)： 第三代的一個(gè)關(guān)鍵特征是液態(tài)氦保持時(shí)間增加 30%。 這對(duì)于所有低溫實(shí)驗(yàn)都有很大的優(yōu)勢(shì)，降低了運(yùn)行成本，并為用戶提供了更多的靈活性。 新型低溫器設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期光譜實(shí)驗(yàn)，而不會(huì)影響 LT STM 始終提供的穩(wěn)定性。

TEM Mill 精密離子減薄儀 功能介紹： 1. 樣品載臺(tái)X-Y可調(diào)，可根據(jù)需要調(diào)整樣品減薄位置 2. 具備原位實(shí)時(shí)觀察及記錄減薄過(guò)程功能 3. 樣品可360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)或搖擺，離子束自動(dòng)避讓樣品夾 4. 可通過(guò)時(shí)間、溫度以及透光性自動(dòng)停止 5. 可選液氮冷臺(tái)配置，去除熱效應(yīng)對(duì)樣品的損傷 6.可選真空或惰性氣體轉(zhuǎn)移裝置，隔絕樣品與水氧接觸

電子萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī) 產(chǎn)品簡(jiǎn)述： MTS Criterion40系列測(cè)試系統(tǒng)采用高速率、低振動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置和集成、數(shù)字閉環(huán)控制裝置，在1N到100kN范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)力控、位移控或應(yīng)變控的試驗(yàn)。

熱翹曲系統(tǒng) 技術(shù)參數(shù)： 1. 最大樣品尺寸 : 400 mm x 400 mm 2. 最小樣品尺寸 : 0.5 mm x 0.5 mm 3. 在 2 秒內(nèi)獲得 140 萬(wàn)個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn) 4. Warpage 分辨率 1 µm 5. 最高每秒加熱 3.5ºC 攝氏度 6. 紅外線加熱和對(duì)流冷卻來(lái)控制溫度