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CIF掃描電鏡等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì),清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/p>
CIF等離子去膠機(jī) 采用電感耦合各向同性(各個(gè)方向)等離子激發(fā)方式,適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體去膠。其外觀美學(xué)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,漂亮大氣,優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使得處理樣品量更大,適用范圍更廣,性能更穩(wěn)定,操作更簡(jiǎn)便,性價(jià)比更高,使用成本更低,實(shí)用性更強(qiáng),更容易維護(hù)。
CIF推出RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī),采用RIE反應(yīng)離子誘導(dǎo)激發(fā)方式,實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面各向異性的微結(jié)構(gòu)刻蝕。特別適合于大學(xué),科研院所、微電子、半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕等方面研究。使用成本低,性價(jià)比高,易維護(hù),處理快速高效。適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形進(jìn)行RIE反應(yīng)離子刻蝕。
CIF 生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級(jí)客戶而設(shè)計(jì)的等離子體表面處理設(shè)備,配置豐富,且真空腔體里可分層,適合大多數(shù)生產(chǎn)場(chǎng)景。適用于等離子清洗,活化以及刻蝕等多種應(yīng)用,設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,樣品處理重復(fù)性、一致性好。
全新CIF 實(shí)驗(yàn)室型等離子清洗機(jī)并非傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計(jì)理念,可中試生產(chǎn)、模擬生產(chǎn)條件,幾乎具備等離子體清洗設(shè)備所有的功能。采用頂置真空倉,上開蓋下壓式鉸鏈開關(guān)方式,上置式360度自由取放樣品托盤設(shè)計(jì),具有較大的腔體尺寸和有效樣品處理面積,使用成本低,性價(jià)比高,處理快速高效,特別適合于大學(xué),科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗(yàn)室小批量中試生產(chǎn)。