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PD-3800L 化學氣相沉積系統(tǒng)是一種能夠沉積硅基薄膜(氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅)的鎖載等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)。該系統(tǒng)由于采用了大型反應室,并通過載盤裝載多片晶圓進行批量處理,因此產量較高。在直徑360mm的區(qū)域內可以沉積出具有優(yōu)異的厚度均勻性和應力控制的薄膜,具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復性。用戶友好的觸摸屏界面用于參數(shù)控制和配方存儲。
PD-220NL 是一種負載鎖定等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD) 系統(tǒng),能夠沉積硅基薄膜(氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅)。該系統(tǒng)以非常緊湊的占地面積提供了PECVD的所有標準功能??稍谥睆?20毫米的區(qū)域內沉積具有優(yōu)異厚度均勻性和應力控制的薄膜,并具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復性。用戶友好的觸摸屏界面,用于參數(shù)控制和配方存儲。該系統(tǒng)是研發(fā)用薄膜沉積以及試生產的理想選擇。
AL-1無針孔薄膜沉積設備通過交替向反應室提供有機金屬原料和氧化劑,僅利用表面反應沉積薄膜,實現(xiàn)了高膜厚控制和良好的步驟覆蓋率。薄膜的厚度可以控制在原子層的數(shù)量。此外,可以在高寬比的孔內壁上沉積覆蓋性好、厚度均勻的薄膜??赏瑫r沉積3片ø4英寸的晶片。
PD-2201LC 是一種盒式裝載等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD) 設備,能夠沉積硅基薄膜(氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅)。該系統(tǒng)在節(jié)省空間的提下提供了PECVD的所有標準功能。可在直徑220毫米的區(qū)域內沉積具有優(yōu)異厚度均勻性和應力控制的薄膜,并具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復性。
Orion Proxima 高密度等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)。