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  • PD-220N化學氣相沉積等離子體CVD系統(tǒng)

    PD-220N是用于沉積各種硅薄膜(SiO2、Si3N4等)的等離子體CVD系統(tǒng)。 PD-220N在提供薄膜沉積所需的全部功能的同時,占地面積比本公司的傳統(tǒng)系統(tǒng)小40%。 從研究到半大規(guī)模生產,它的應用范圍很廣。

    更新時間:2024-09-04
    型號:PD-220N
    廠商性質:經銷商
    瀏覽量:154
  • PD-3800L化學氣相沉積系統(tǒng)

    PD-3800L 化學氣相沉積系統(tǒng)是一種能夠沉積硅基薄膜(氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅)的鎖載等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)。該系統(tǒng)由于采用了大型反應室,并通過載盤裝載多片晶圓進行批量處理,因此產量較高。在直徑360mm的區(qū)域內可以沉積出具有優(yōu)異的厚度均勻性和應力控制的薄膜,具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復性。用戶友好的觸摸屏界面用于參數(shù)控制和配方存儲。

    更新時間:2024-09-06
    型號:PD-3800L
    廠商性質:經銷商
    瀏覽量:215
  • PD-220NL化學氣相沉積 (PECVD) 系統(tǒng)

    PD-220NL 是一種負載鎖定等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD) 系統(tǒng),能夠沉積硅基薄膜(氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅)。該系統(tǒng)以非常緊湊的占地面積提供了PECVD的所有標準功能??稍谥睆?20毫米的區(qū)域內沉積具有優(yōu)異厚度均勻性和應力控制的薄膜,并具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復性。用戶友好的觸摸屏界面,用于參數(shù)控制和配方存儲。該系統(tǒng)是研發(fā)用薄膜沉積以及試生產的理想選擇。

    更新時間:2024-09-06
    型號:PD-220NL
    廠商性質:經銷商
    瀏覽量:243
  • AL-1無針孔薄膜沉積設備

    AL-1無針孔薄膜沉積設備通過交替向反應室提供有機金屬原料和氧化劑,僅利用表面反應沉積薄膜,實現(xiàn)了高膜厚控制和良好的步驟覆蓋率。薄膜的厚度可以控制在原子層的數(shù)量。此外,可以在高寬比的孔內壁上沉積覆蓋性好、厚度均勻的薄膜??赏瑫r沉積3片ø4英寸的晶片。

    更新時間:2024-09-06
    型號:AL-1
    廠商性質:經銷商
    瀏覽量:186
  • PD-2201LC化學氣相沉積 (PECVD) 設備

    PD-2201LC 是一種盒式裝載等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD) 設備,能夠沉積硅基薄膜(氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅)。該系統(tǒng)在節(jié)省空間的提下提供了PECVD的所有標準功能。可在直徑220毫米的區(qū)域內沉積具有優(yōu)異厚度均勻性和應力控制的薄膜,并具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復性。

    更新時間:2024-09-06
    型號:PD-2201LC
    廠商性質:經銷商
    瀏覽量:168
  • Orion Proxima高密度等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)

    Orion Proxima 高密度等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)。

    更新時間:2024-09-05
    型號:Orion Proxima
    廠商性質:經銷商
    瀏覽量:235
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