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噴涂膠機

簡要描述:在噴涂法中,噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。經過優(yōu)化后的晶圓上方噴嘴移動路徑可以實現在襯底上均勻的涂層。 噴涂所用的液體通常粘度極低,以確保形成細小的液滴

  • 產品型號:AS8
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-09-06
  • 訪  問  量: 770

詳細介紹

1.產品介紹:  

AS8適用于崎嶇表面的手動噴霧涂膠機,AS8涂膠機可以滿足實驗室和試產環(huán)境下常用工藝的需要,對于起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結構加工,都是理想的工具。SUSS AS8涂膠機也可用于生產環(huán)境。

2.產品優(yōu)勢:

跨越大起伏形貌的圖案化賦能技術

頂部邊緣覆蓋的保形涂膠,且能避免溝槽中堆膠。

噴霧設計,可實現工藝穩(wěn)定性與重復性的優(yōu)化

基板尺寸最大直徑為200 mm,方形基板最大邊長為 6"

最多可有2個獨立的噴霧噴膠系統(tǒng),以避免交叉污染

帶有MMC控制器軟件的觸摸屏

全部工藝參數可在工藝菜單中編程

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