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枚葉式PECVD設(shè)備CME-200E/400 枚葉式PE-CVD設(shè)備CME-200E/400是適用于Si系絕緣膜、barrier膜等成膜的量產(chǎn)用PECVD設(shè)備。

縱向式Cat-CVD設(shè)備CCV系列CCV Series是a-Si鍍膜用的縱向式CVD設(shè)備。有30年以上的量產(chǎn)實(shí)績(jī)。在各個(gè)chamber通過(guò)低壓鍍膜，得到高品質(zhì)的膜質(zhì)。

卷繞式真空蒸鍍?cè)O(shè)備 EW系列 塑料薄膜、紙、金屬箔等連續(xù)卷繞的同時(shí)，對(duì)金屬和氧化物進(jìn)行蒸鍍的成膜設(shè)備。從小型的實(shí)驗(yàn)機(jī)到大量的生產(chǎn)設(shè)備，此外，還提供一系列用于包裝材料，電容器，磁帶等其他應(yīng)用的型號(hào)。

卷繞式濺射設(shè)備SPW系列 SPW系列設(shè)備，是可在塑料薄膜上進(jìn)行光學(xué)膜、金屬膜等多層成膜的卷繞式設(shè)備。實(shí)施成膜室間的氣氛分隔，可以使高性能的多層膜一次性成膜。

有機(jī)EL成膜設(shè)備SOLCIET, SATELLA, ZELDA系列。ULVAC面向有機(jī)EL材料開(kāi)發(fā)提供實(shí)驗(yàn)用設(shè)備系統(tǒng)到量產(chǎn)Cluster系統(tǒng)設(shè)備和Inline系統(tǒng)設(shè)備。

RIE-1C是用于半導(dǎo)體芯片故障分析的緊湊型刻蝕設(shè)備。可以高效、低損傷地去除鈍化膜。它操作簡(jiǎn)單，樣品放置后只需按一下按鈕就可以完成整個(gè)過(guò)程?？梢苑旁谧烂嫔希部梢赃x擇用支架。