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量產(chǎn)用刻蝕設備NE-5700/NE-7800 量產(chǎn)用刻蝕設備NE-5700/NE-7800是可以對應單腔及多腔、重視性價比擁有擴展性的刻蝕設備。

濺射鍍膜設備SMD系列（立式） SMD 系列是鍍金屬膜、ITO、IGZO、誘電體膜等的枚葉式濺射鍍膜設備。僅SMD系列就有超過1000臺的豐富的采用實績，在各種各樣的生產(chǎn)環(huán)境下運轉(zhuǎn)。及時反映從生產(chǎn)現(xiàn)場聽取的意見，進一步提高設備的可靠性。

Load-lock式濺射設備是可對應從研究開發(fā)到小規(guī)模量產(chǎn)的濺射設備。這種設備通過在真空濺射室之前增加一個預真空鎖室（Load-lock chamber），實現(xiàn)了基片在預真空環(huán)境下進行快速裝卸，同時保持了濺射室的高真空狀態(tài)。

批次式濺射設備SV系列 SV系列為縱型batch式濺射設備。為可以處理大量基板的回轉(zhuǎn)型設備。

枚葉式等離子CVD設備CMD系列 CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚葉式CVD設備。

Load-lock式Plasma CVD設備 CC-200/400 Load-lock式Plasma CVD設備CC-200/400是小型的使用便利的可對應從研究開發(fā)到量產(chǎn)的設備。