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PlasmaPro 80是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統(tǒng)，可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。 它易于放置，便于使用，且能確保工藝性能。直開式設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)快速晶圓裝卸，是研究和小批量生產(chǎn)的理想選擇。 它通過優(yōu)化的電極冷卻和出色的襯底溫度控制來實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的工藝。

Angstrom Engineering 的 Amod PVD 平臺(tái)是一款物理氣相沉積系統(tǒng)，Amod物理氣相沉積平臺(tái)開始允許更大的腔室投射距離，并能夠適應(yīng)更多的工藝增強(qiáng)功能。您的研究目標(biāo)、生產(chǎn)需求和/或應(yīng)用最終目標(biāo)將告知如何裝備您的 Amod PVD 平臺(tái)。

SUSS MicroTec為熱門化合物半導(dǎo)體工藝專門設(shè)計(jì)了一款新型光刻平臺(tái)：MA100/150e Gen2掩模對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)。化合物半導(dǎo)體工藝，是指諸如高亮發(fā)光二極管（HB-LEDs）、功率器件、RF-MEMS等方面的半導(dǎo)體應(yīng)用。MA100/150e Gen2具備高精度對(duì)準(zhǔn)功能，上至0.7µm的光刻分辨率，擁有為易碎、翹曲或透明晶圓片定制的傳載系統(tǒng)等強(qiáng)大功能和配置。

通過采用結(jié)合空心陽極離子槍和磁控管離子槍的新型離子槍，可實(shí)現(xiàn)了超精細(xì)結(jié)構(gòu)的薄膜。

提供大面積刻蝕與沉積的量產(chǎn)型解決方案，LED工業(yè)要求高產(chǎn)量，高器件質(zhì)量和低購置成本。 PlasmaPro 1000更好地解決了這些需求。

PlasmaPro 80是一種結(jié)構(gòu)緊湊且使用方便的小型直開式系統(tǒng)，可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。 它易于放置，便于使用，且能確保工藝性能。直開式設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)快速晶圓裝卸，是研究、原型設(shè)計(jì)和小批量生產(chǎn)的理想選擇。 它通過優(yōu)化的電極冷卻和出色的襯底溫度控制來實(shí)現(xiàn)高性能工藝。