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當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備  >  4 外延系統(tǒng)

  • LMBE450超高真空激光分子束外延薄膜沉積系統(tǒng)

    產(chǎn)品概述: 超高真空激光分子束外延薄膜沉積系統(tǒng)由真空腔室(外延室、進(jìn)樣室)、樣品傳遞機(jī)構(gòu)、樣品架、立式旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)、基片加熱臺(tái)、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、工作氣路、電控系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制等各部分組成。 設(shè)備用途: 脈沖激光沉積(Pulsed Laser DeposiTION,簡(jiǎn)稱PLD)是新近發(fā)展起來(lái)的一項(xiàng)技術(shù),繼20世紀(jì)80年代末成功地制備出高臨界溫度的超導(dǎo)薄膜之后,它的優(yōu)點(diǎn)和潛力逐漸被人們認(rèn)識(shí)和重視。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號(hào):LMBE450
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:417
  • MARS iCE120多片碳化硅外延系統(tǒng)

    MARS iCE120 多片碳化硅外延系統(tǒng),產(chǎn)能大,6 英寸運(yùn)營(yíng)成本低,薄膜和厚膜外延兼容,工藝穩(wěn)定性高。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號(hào):MARS iCE120
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:341
  • Hesper I E430R12英寸單片減壓硅外延系統(tǒng)

    Hesper I E430R 12英寸單片減壓硅外延系統(tǒng),優(yōu)異的氣流場(chǎng)和加熱場(chǎng)設(shè)計(jì)提供優(yōu)良的工藝性能。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號(hào):Hesper I E430R
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:401
  • Hesper E230A12英寸單片常壓硅外延系統(tǒng)

    Hesper E230A 12英寸單片常壓硅外延系統(tǒng),優(yōu)異的氣流場(chǎng)和加熱場(chǎng)設(shè)計(jì)提供優(yōu)良的工藝性能。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號(hào):Hesper E230A
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:654
  • Hesper Ⅱ E630R plus12英寸減壓選擇性外延系統(tǒng)

    Hesper Ⅱ E630R plus 12英寸減壓選擇性外延系統(tǒng),多區(qū)紅外加熱協(xié)同激光微區(qū)補(bǔ)償,溫場(chǎng)均勻可控。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號(hào):Hesper Ⅱ E630R plus
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:617
  • Esther/Eris 系列8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)

    Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng),傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計(jì)可兼容多種工藝用途,友好的人機(jī)交互和安全性設(shè)計(jì)保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效,具有單腔和多腔兩種機(jī)型,可滿足不同客戶需求。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號(hào):Esther/Eris 系列
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:382
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