燭龍™系列中的多模態(tài)光電顯微鏡是一臺具有超高穩(wěn)定性的多功能光電綜合測試和微加工系統(tǒng)，可根據(jù)客戶需求提供多種靈活可選的配置和方案。系統(tǒng)集成了電動運動臺和振鏡的掃描方式，可實現(xiàn)瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)下的光電流測試和掃描成像，熒光壽命測試和掃描成像，拉曼光譜測試，二次諧波測試，熒光光譜采集，發(fā)射和吸收等光譜端的測試和掃描成像。除此之外，整套系統(tǒng)可搭配飛秒脈沖激光器和我司自主研發(fā)的低溫系統(tǒng)進行相關(guān)的變溫測試以及器件表面的微加工和缺陷標記。多模態(tài)光電顯微鏡將為眾多新質(zhì)生產(chǎn)力領(lǐng)域提供強大的支持，助力國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展和科技創(chuàng)新。

- 極紫外-太赫茲波段的超寬譜線覆蓋范圍(266nm-0.8THz)

- 多種可選的穩(wěn)態(tài)光源和瞬態(tài)光源

- 提供激光功率和頻率的軟件控制

- 電動顯微聚焦

- 多種可選的光采集模式

- 瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)光源和光路的電動切換

- 線偏振光和圓偏振光的電動偏振測試

- 支持直流，交流以及高頻探針

（漏電流<100fA）

- 支持常溫和變溫下的引線鍵合測試（10K-450K）

- 支持常溫和變溫下的探針測試

（77K-450K）

- 兼容2450，4200，6221等多種源表

- 兼容OE1201，SR810等多種鎖相放大器