當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備 > 1 光刻設(shè)備 > BIO L+無掩膜光刻機(jī)
簡(jiǎn)要描述:BIO系列是生命科學(xué)版的無掩膜紫外光刻機(jī),無掩膜光刻機(jī)具有更高的深寬比,能滿足生命科學(xué)領(lǐng)域的特殊需求。它主要用于制備像微流控芯片之類的具有特定需求的樣品 。在微流控芯片的制造過程中,其高深寬比和高靈活性的特點(diǎn)得以展現(xiàn),可確保芯片的質(zhì)量和性能。這使得它成為生命科學(xué)研究和相關(guān)應(yīng)用中的重要工具。BIO 系列的出現(xiàn)為生命科學(xué)領(lǐng)域帶來了新的機(jī)遇。
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1. 產(chǎn)品概述
BIO系列是生命科學(xué)版的無掩膜紫外光刻機(jī),該設(shè)備具有更高的深寬比,能滿足生命科學(xué)域的特殊需求。它主要用于制備像微流控芯片之類的具有特定需求的樣品 。在微流控芯片的制造過程中,其高深寬比和高靈活性的特點(diǎn)得以展現(xiàn),可確保芯片的質(zhì)量和性能。這使得它成為生命科學(xué)研究和相關(guān)應(yīng)用中的重要工具。BIO 系列的出現(xiàn)為生命科學(xué)域帶來了新的機(jī)遇,有助于推動(dòng)相關(guān)技術(shù)的發(fā)展和創(chuàng)新,為科學(xué)研究和實(shí)際應(yīng)用提供有力支持。
特征尺寸1μm
無掩膜光刻機(jī)
高深比
2. 應(yīng)用領(lǐng)域
微流道芯片
二維材料
光學(xué)掩膜版
MEMS器件
灰度光刻
特殊微納結(jié)構(gòu)
3. 公司概要
托托科技(蘇州)有限公司是一家注于顯微光學(xué)加工和顯微光學(xué)檢測(cè)域的公司,在基于數(shù)字微鏡器件的無掩膜光刻技術(shù)域中進(jìn)行了數(shù)年的深入研究和技術(shù)積累,其研制和生產(chǎn)的無掩膜紫外光刻機(jī)一經(jīng)問世,就受到了諸多客戶的青睞,在科研和工業(yè)域都有廣泛的應(yīng)用。例如,在微納加工域,可以用于制作MEMS器件、微流控芯片、微型傳感器等;在光電子域,可以用于制作光柵、衍射光學(xué)元件等。
托托科技致力于設(shè)備底層技術(shù)的研究和積累,不斷尋求技術(shù)的突破,努力為客戶帶來更好的設(shè)備和更好的使用體驗(yàn),幫助客戶創(chuàng)造更高的價(jià)值。
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