8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)

簡要描述：eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，加熱基座設(shè)計，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫。

產(chǎn)品型號：eVictor系列
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-09-05
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詳細(xì)介紹

1. 產(chǎn)品概述

eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，加熱基座設(shè)計，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫。

2. 設(shè)備用途/原理

eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，加熱基座設(shè)計，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫，高溫鋁工藝具備高深寬比填充能力，背金工藝薄片傳輸及工藝，過程溫度實時監(jiān)控，優(yōu)異的溫度和應(yīng)力控制能力，雙腔傳輸平臺，多可支持 10 個工藝模塊，靶材利用率高，大產(chǎn)能，低運營成本。

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸 6、8 英寸，適用材料鈦、氮化鈦、鋁、鎳、鎳釩、銀。適用工藝鋁線、正面電工藝、背面金屬化工藝等。適用域科研、化合物半導(dǎo)體、集成電路。