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簡要描述:傅里葉紅外光譜儀 一、應用:用于半導體材料內部含量檢測,同質外延厚度測量和其他應用,用于*進的半導體工廠,在硅生長和器件制造領域進行材料表征二、技術參數(shù): 1.光譜范圍:遠紅外、中紅外、近紅外、可見光2. 信噪比:>55000:13.光譜分辨率(cm-1):<0.09電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm
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傅里葉紅外光譜儀(FTIR)是一種高精度的光譜分析儀器,廣泛應用于化學、材料科學、環(huán)境監(jiān)測和生物醫(yī)學等領域。它的工作原理基于材料對紅外輻射的吸收特性,通過分析分子振動和旋轉模式,提供有關樣品分子結構和成分的重要信息。與傳統(tǒng)的紅外光譜儀相比,F(xiàn)TIR具有更高的靈敏度和分辨率,使其能夠檢測和識別復雜混合物中的微量成分。
傅里葉紅外光譜儀主要用于定性和定量分析各種化合物,包括有機和無機物質。研究人員可以利用該儀器進行材料表征、污染檢測、藥物分析和生物樣品研究,以了解樣品的化學結構和組成。
傅里葉紅外光譜儀通過發(fā)射紅外光束到樣品上,測量樣品對不同波長的紅外光的透過率或反射率。儀器內部使用干涉儀將光信號轉換為干涉圖譜,隨后利用傅里葉變換算法將干涉圖譜轉換為光譜數(shù)據(jù)。用戶可以分析光譜中出現(xiàn)的特征峰,識別樣品中的功能團和化合物,從而獲得詳細的化學信息。
1. 應用:用于半導體材料內部含量檢測,同質外延厚度測量和其他應用,用于先進的半導體工廠,在硅生長和器件制造域進行材料表征
2. 光譜范圍:遠紅外、中紅外、近紅外、可見光
3. 信噪比:>55000:1
4. 光譜分辨率(cm-1):<0.09電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm
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