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脈沖激光沉積鍍膜機(jī)PLD是一種先進(jìn)的薄膜制備技術(shù),它利用高能脈沖激光束對(duì)材料表面進(jìn)行局部加熱,使其蒸發(fā)或?yàn)R射,從而實(shí)現(xiàn)薄膜的沉積。這種技術(shù)具有高精度、高效率、可控性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。基本原理是激光束通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)聚焦到待鍍材料表面,使材料局部受熱,達(dá)到其熔點(diǎn)或沸點(diǎn),從而使材料蒸發(fā)或?yàn)R射。蒸發(fā)或?yàn)R射的材料原子或分子在基板表面凝聚形成薄膜。通過(guò)對(duì)激光束的參數(shù)(如波長(zhǎng)、脈沖寬度、脈沖頻率等)和掃描路徑的控制,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度、成分和結(jié)構(gòu)的高度控制。...
半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀是一種用于測(cè)量和評(píng)估半導(dǎo)體器件的性能和特性的儀器。它能夠通過(guò)自動(dòng)化控制和多種測(cè)量技術(shù),對(duì)半導(dǎo)體器件的電流、電壓、功率、頻率等關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量和分析。半導(dǎo)體器件是現(xiàn)代電子產(chǎn)品中*組成部分,如晶體管、二極管、集成電路等。這些器件的性能和特性對(duì)于整個(gè)電子系統(tǒng)的正常運(yùn)行至關(guān)重要。因此,為了確保半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和可靠性,需要進(jìn)行全面而準(zhǔn)確的參數(shù)測(cè)試。半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀通常由以下幾個(gè)主要組件構(gòu)成:1.測(cè)試儀器:包括源測(cè)量單元(SMU)、示波器、頻譜分析儀等,用于測(cè)量半導(dǎo)...
企業(yè)級(jí)真空快速熱處理設(shè)備是一種高科技產(chǎn)品,可以在無(wú)氧、無(wú)污染的環(huán)境下進(jìn)行快速熱處理,使其具備優(yōu)秀的物理和化學(xué)性能。它廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車(chē)制造、船舶制造、電子信息等行業(yè),為企事業(yè)單位提供了高效、節(jié)能、可靠的熱處理解決方案。原理:1.快速加熱:設(shè)備采用電阻加熱技術(shù),能夠快速完成加熱過(guò)程,提高生產(chǎn)效率。2.高溫精度:設(shè)備采用PID控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的溫度控制,保證熱處理效果穩(wěn)定可靠。3.無(wú)氧保護(hù):設(shè)備采用真空環(huán)境,避免了材料在高溫下接觸氧氣引起的氧化反應(yīng),保證材料在處理過(guò)...
化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)CMP是當(dāng)今半導(dǎo)體工業(yè)中重要的一種制造工藝。它主要用于將硅片表面的雜質(zhì)和氧化物等物質(zhì)去除,并使表面平整度達(dá)到亞納米級(jí)別,以滿足高精度芯片制造的需求。CMP是一種復(fù)合加工技術(shù),即結(jié)合了化學(xué)反應(yīng)和機(jī)械力量?jī)煞N力量的加工方式。在CMP過(guò)程中,通過(guò)在研磨板上施加旋轉(zhuǎn)力和軸向壓力,將硅片與研磨板接觸摩擦,同時(shí)使其浸泡在含有氧化劑和酸性溶液的混合液中。這時(shí),溶液中的氧化劑與硅片表面氧化層反應(yīng)形成較穩(wěn)定的氧化物,然后通過(guò)機(jī)械力量去除氧化物和雜質(zhì)等物質(zhì),使硅片表面更加平整、光滑...
磁控濺射系統(tǒng)是一種常用于薄膜沉積和表面涂層的工藝技術(shù)。它利用磁場(chǎng)控制金屬或化合物材料的濺射,將其沉積在基板上,形成均勻、致密且具有優(yōu)良性能的薄膜。磁控濺射系統(tǒng)的核心部件是濺射源,通常由靶材、磁控裝置和加熱器組成。靶材是目標(biāo)材料,可以是金屬、合金或化合物,根據(jù)應(yīng)用需求選擇。磁控裝置包括磁鐵和極板,在濺射過(guò)程中產(chǎn)生并維持均勻的磁場(chǎng),以控制離子束的運(yùn)動(dòng)軌跡和能量分布。加熱器用于提高靶材溫度,使其達(dá)到濺射所需的合適條件。在磁控濺射過(guò)程中,通過(guò)加熱器對(duì)靶材加熱,使其表面發(fā)射出高能量的粒...