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磁控濺射鍍膜機(jī)Sputter應(yīng)用領(lǐng)域:巨磁電阻(GMR)、組合材料科學(xué)(CMS)、半導(dǎo)體、超導(dǎo)體、納米級(jí)器件、光子學(xué)、光伏(PV)、OLED(發(fā)光二極管)、有機(jī)薄膜。
脈沖激光沉積鍍膜機(jī)PLD系統(tǒng)主要由真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)、基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量及電控系統(tǒng)等部分組成。
電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)E-Beam 概述:系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室、主抽過渡管路、旋轉(zhuǎn)基片架、光加熱系統(tǒng)、電子槍及電源、石英晶體振蕩膜厚監(jiān)控儀、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。
熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)Thermal Evaporation 設(shè)備用途:熱蒸發(fā)是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),通過對(duì)鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程??稍诟哒婵障抡舭l(fā)高質(zhì)量的不同厚度的金屬薄膜。蒸鍍薄膜種類:Au, Cr, Ag, Al, Cu, In,有機(jī)物等
分子束外延薄膜沉積系統(tǒng)MBE 是在超高真空系統(tǒng)中把所需要的結(jié)晶材料放入到噴射爐中,將噴射爐加熱。使結(jié)晶材料形成分子束,從爐中噴出后,沉積在高溫的單晶基片上。如果設(shè)置幾個(gè)噴射爐,就可以制取多元半導(dǎo)體混晶,又可以同時(shí)進(jìn)行摻雜??梢跃_地控制結(jié)晶生長,進(jìn)行沉積系統(tǒng)中結(jié)晶生長過程的研究。