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自動薄膜沉積簇工具

簡要描述:Kurt J. Lesker Company自動薄膜沉積簇工具 OCTOS集群工具是經(jīng)過驗證的研發(fā)和中試生產(chǎn)系統(tǒng),用于在多個工藝室之間進(jìn)行真空傳輸。®

  • 產(chǎn)品型號:OCTOS™
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 159

詳細(xì)介紹

Kurt J. Lesker Company OCTOS集群工具是經(jīng)過驗證的研發(fā)和中試生產(chǎn)系統(tǒng),用于在多個工藝室之間進(jìn)行真空傳輸。®

典型應(yīng)用包括磁隧道結(jié)和自旋邏輯器件(GMR、TMR、MRAM、STT)、有機(jī)發(fā)光器件(OLED)、太陽能電池(PV、OPV)。

OCTOS 集群工具具有單個或多個基板盒負(fù)載鎖定功能,并允許在真空中完成工藝配方步驟,而無需將基材暴露在大氣中。OCTOS能夠自動按順序處理基材,一次處理一個基材,或者并行處理基材,以提高產(chǎn)量。提供底物跟蹤功能,并標(biāo)配全過程數(shù)據(jù)記錄。

工藝室圍繞中央機(jī)器人分配室布置,以適應(yīng)您的應(yīng)用。

KJLC 的 eKLipse 軟件允許用戶友好的配方創(chuàng)建以及可靠、不間斷的控制器,無論計算機(jī)用戶界面的狀態(tài)如何,都可以完成過程。有關(guān)此直觀、可靠的軟件包的更多信息,請參閱“軟件"選項卡

自 1999 年以來,KJLC 一直在制造 OCTOS 集群工具平臺。我們的大多數(shù) OCTOS 集群工具已成為其所有者的主力軍,并且仍在日常使用,包括已經(jīng)處理了超過 100 萬個基材的工具。

提供的技術(shù):

  • 電子束蒸發(fā)

  • 熱蒸發(fā)

  • 磁控濺射

  • 有機(jī)蒸發(fā)

  • 原子層沉積

選項:

  • HV 或 UHV 工藝模塊

  • 等離子清洗

  • 基板退火

  • 口罩儲存和原位口罩更換

  • 手套箱集成

  • 定制工藝模塊

  • 轉(zhuǎn)移到真空分析室,如XPS

  • 與第三方工藝室(如 PLD 或 CVD)集成



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