當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備 > 1 光刻設(shè)備 > EZ4-S小巧型勻膠機(jī)
簡(jiǎn)要描述:EZ4-S-PP小巧型勻膠機(jī),小巧耐腐蝕,適用于手套箱內(nèi),液晶顯示,程序可調(diào),支持4寸底物,鋁合金/PP外殼可選。
產(chǎn)品分類(lèi)
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結(jié)構(gòu)緊湊:EZ4-S設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)緊湊,易于放入手套箱內(nèi)操作,適合在有限空間內(nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。
操作簡(jiǎn)便:采用文本顯示器人機(jī)界面,液晶文本顯示,彩色面膜按鍵,操作簡(jiǎn)單易用。
高精度:轉(zhuǎn)速范圍廣泛(100-9999RPM),轉(zhuǎn)速分辨率高達(dá)1RPM,確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的精確性。
多步程控:可設(shè)置多步程序運(yùn)行控制,多可設(shè)置5組5步程序,滿(mǎn)足復(fù)雜實(shí)驗(yàn)需求。
耐腐蝕:外殼采用鋁合金著色氧化處理,內(nèi)腔采用耐腐蝕材料,經(jīng)久耐用。
寬電壓適用:配備100W直流無(wú)刷電機(jī),寬電壓輸入(AC100-230V),適應(yīng)不同電源環(huán)境。
參數(shù)名稱(chēng) | 參數(shù)值 |
---|---|
型號(hào) | EZ4-S |
品牌 | LEBO/雷博 |
產(chǎn)地 | 江蘇江陰 |
轉(zhuǎn)速范圍 | 100-9999RPM |
轉(zhuǎn)速分辨率 | 1RPM |
加速度可調(diào)范圍 | 100-9999RPM/S |
大單步步長(zhǎng) | 3000S |
旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率 | 1S |
可處理底物尺寸 | 小于1cm的碎片至4英寸(100mm)圓晶底物 |
電機(jī)類(lèi)型 | 直流無(wú)刷電機(jī) |
電源輸入 | AC100-230V |
外型尺寸 | 210(W)265(D)220(H)mm(不同來(lái)源略有差異,如210mm(W)265mm(D)213mm(H)) |
標(biāo)配載物盤(pán) | 直徑10mm、25mm、2英寸(或55mm)三種規(guī)格真空載物盤(pán) |
EZ4-S小巧型勻膠機(jī)廣泛應(yīng)用于納米薄膜制備、鈣鈦礦薄膜太陽(yáng)能、有機(jī)光電、MEMS、聲表、光通訊、化合物半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝等域。其高精度、高重復(fù)性和靈活配置的特點(diǎn),使其成為科研和生產(chǎn)中的重要設(shè)備。
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