當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備 > 1 光刻設(shè)備 > UC100-SE紫外臭氧清洗機(jī)
簡(jiǎn)要描述:這款紫外臭氧清洗機(jī),集成嵌入式控制系統(tǒng),人性化設(shè)計(jì),便捷高效,質(zhì)量有保障,專(zhuān)業(yè)服務(wù),是科研與實(shí)驗(yàn)的理想伙伴。
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1.基本參數(shù)
品牌與型號(hào):LEBO/雷博,UC100-SE
產(chǎn)地:中國(guó)江蘇江陰
額定電壓:AC220V,50Hz
燈管功率:多為300W,也有資料提及為275W(具體以實(shí)際產(chǎn)品為準(zhǔn))
燈管壽命:≥8000小時(shí)
燈管形狀:U型或G型(不同來(lái)源信息可能略有差異)
燈管光譜:185nm+254nm或184nm+254nm(不同來(lái)源信息可能略有差異)
清洗面積:≤8寸
外型尺寸:大致為330mm(W)×400~420mm(D)×315mm(H)(不同來(lái)源信息可能略有差異)
產(chǎn)品重量:約為15~16kg
2.功能與特性
高效清洗:通過(guò)VUV低壓紫外汞燈發(fā)射的185nm和254nm波長(zhǎng)的紫外光,直接打開(kāi)和切斷有機(jī)物分子中的共價(jià)鍵,使其活化并分解成離子、游離態(tài)原子等,同時(shí)生成臭氧和活性氧原子,通過(guò)氧化反應(yīng)清除粘附在物體表面上的有機(jī)污染物。
集成控制系統(tǒng):設(shè)備采用集成式的嵌入式控制系統(tǒng),帶有LCD點(diǎn)陣液晶顯示屏和數(shù)字化操作界面,用戶操作更加簡(jiǎn)單直觀。
高度調(diào)節(jié)與誤觸保護(hù):基片照射高度可無(wú)化調(diào)節(jié)或采用X型調(diào)節(jié)裝置,確保高度調(diào)節(jié)更加平穩(wěn)。同時(shí),系統(tǒng)自帶誤觸功能,降低操作失誤幾率。
風(fēng)量調(diào)速:進(jìn)風(fēng)及抽風(fēng)風(fēng)扇采用5調(diào)速,可根據(jù)需要調(diào)節(jié)風(fēng)量,確保清洗效果。
人體工程學(xué)設(shè)計(jì):設(shè)備設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué)原理,實(shí)驗(yàn)操作易上手,使用便捷。
3.應(yīng)用域
UC100-SE紫外臭氧清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于多個(gè)域,包括但不限于:
LCD、OLED生產(chǎn):在涂光刻膠、PI膠、定向膜、鉻膜、色膜進(jìn)行光清洗,提高基體表面潤(rùn)濕性和粘合力。
半導(dǎo)體生產(chǎn):硅晶片涂保護(hù)膜、鋁蒸發(fā)膜進(jìn)行光清洗,提高粘合力,防止針孔、裂縫的發(fā)生。
掃描探測(cè)顯微鏡:用于清洗原子力顯微鏡探針、掃描探針顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)和其他表面上的油漬層和殘留的無(wú)機(jī)材料。
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