當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備 > 1 光刻設(shè)備 > PT500等離子清洗機(jī)
簡(jiǎn)要描述:LEBO science的PT500真空等離子清洗機(jī),作為Plasma Treatment Equipment,具備以下顯著特點(diǎn):設(shè)備小巧,操作便捷:采用一鍵式操控設(shè)計(jì),便于在科研院所等實(shí)驗(yàn)環(huán)境中靈活使用。環(huán)保無(wú)污染:使用過(guò)程中無(wú)環(huán)境污染,無(wú)需化學(xué)品消耗,且機(jī)臺(tái)本身不產(chǎn)生任何污染物。高效清洗能力:能夠迅速達(dá)成所需的表面親水性,提升處理效率。廣泛適用性與無(wú)損處理:應(yīng)用廣泛,對(duì)處理產(chǎn)品無(wú)損傷
產(chǎn)品分類(lèi)
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1.產(chǎn)品特點(diǎn)
設(shè)備小巧:PT500真空等離子清洗機(jī)設(shè)計(jì)緊湊,適合在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中使用,便于操作和存放。
真空腔容量大:雖然設(shè)備小巧,但其真空腔容量足夠大,可以滿(mǎn)足小批量樣品的處理需求。
無(wú)高溫清洗:清洗過(guò)程不會(huì)產(chǎn)生高溫,避免了產(chǎn)品因熱變形而導(dǎo)致的質(zhì)量問(wèn)題。
廣泛適用性:可以處理各種各樣的材質(zhì),如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料等,應(yīng)用廣泛。
一鍵式操控:設(shè)備操作簡(jiǎn)便,一鍵式操控,提高了工作效率。
無(wú)環(huán)境污染:清洗過(guò)程中無(wú)化學(xué)品消耗,機(jī)臺(tái)本身不產(chǎn)生污染物,符合環(huán)保要求。
2.技術(shù)參數(shù)
參數(shù)名稱(chēng):參數(shù)值
腔體材質(zhì);鋁合金
供電電源:AC220V
射頻電源功率:0-500W可調(diào)
射頻頻率:25KHz
真空度:≤100Pa
氣體路數(shù):單路
氣體流量:0.1-1l/min(可調(diào))
清洗時(shí)間:0—999連續(xù)可調(diào)
內(nèi)腔尺寸:147mm*145mm(可定制更大尺寸)
外形尺寸:452mm380mm225mm(注意:不同來(lái)源信息中高度可能略有差異)
重量≈18KG
包裝方式:紙箱包裝
3.應(yīng)用域
PT500真空等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、光電、航空航天等行業(yè)的制造和實(shí)驗(yàn)研究等域。它是目表面處理工藝的重要設(shè)備之一,能夠有效地去除樣品表面的污染物和氧化物,提高樣品的表面質(zhì)量和性能。
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