1.產(chǎn)品概述：
KS-FT200/300系列堆疊式高產(chǎn)能道涂膠顯影機(jī)，為我司自主研發(fā)的突破晶圓道28nm工藝節(jié)點(diǎn)及以上工藝制程，適用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC，SOC，SOD，SOG等多種材料涂覆顯影工藝的機(jī)臺。支持與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)作業(yè)。該系列機(jī)臺通過各種行業(yè)認(rèn)證，占地面積小、可靠性高、易于維護(hù)，滿足各種功能芯片制程需求。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢：

1. 堆疊式高產(chǎn)能架構(gòu)，占地面積小

2. 可與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)，滿足工廠自動化需求

3. 配備多段回吸的多腔體共用供膠系統(tǒng)，有效節(jié)省光刻膠的用量

4. 選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件，滿足更高標(biāo)準(zhǔn)工藝需求

5. 核心單元模塊化設(shè)計(jì)，組合方式靈活多變，大限度客制化

3.應(yīng)用域：

● 邏輯電路

● CMOS射頻電路

● 功率器件

● MEMS系統(tǒng)芯片

● 閃存內(nèi)存                                    

● CIS

● 驅(qū)動芯片

● OLED等