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簡要描述:刻蝕機(jī)終點檢測系統(tǒng) 檢測原理:通過特定波長譜線的強(qiáng)度變化來反映是否達(dá)到刻蝕終點。
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刻蝕機(jī)終點檢測系統(tǒng) 產(chǎn)品介紹:
◆刻蝕機(jī)終點檢測系統(tǒng) 問題解決方案-軟件ideaEPD
主要特點:
1.實時顯示全譜與至少6個峰的時序譜。
2.在時序譜上實時顯示各種事件的縱線標(biāo)記,包含啟輝 信號、預(yù)延遲、終點信號等。
3.配置文件管理界面提供強(qiáng)大與靈活的終點判斷算法, 增加了用戶的可操作性,準(zhǔn)確找到刻蝕終點。
4.包含本地與遠(yuǎn)程模式,下位機(jī)在遠(yuǎn)程模式下由上位機(jī) 控制,并可在檢測到終點后實時向上位機(jī)發(fā)送信號。
5.歷史數(shù)據(jù)可以批量查看,并且可以用新的配置文件再 處理,以便用戶尋找更合適終點算法。
6.可以查看歷史數(shù)據(jù)中不同波長對應(yīng)的時序圖,以便找到適合終點判斷的譜線,方便用戶探索新工藝。
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