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laurell的WS-650-8 B 型勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,具有先進(jìn)的功能。這款650系列涂布機(jī)系統(tǒng) 將 可容納最大200mm晶圓和 7英寸×7英寸 (178mm×178mm)基板,最大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM(基于100mm硅片)。
laurell的WS-650-23B型勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,具有先進(jìn)的功能。這款650系列涂布機(jī)系統(tǒng) 將 可容納最大150mm晶圓和5英寸×5英寸(127mm×127mm)基板,最大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM(基于100mm硅片)。
laurell的H6-15系列勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,具有先進(jìn)的功能,設(shè)計為最容易安裝在手套箱中的旋涂機(jī)。這款650系列HL涂布機(jī)系統(tǒng) 將 可容納高達(dá)300mm 的晶圓和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板,最大轉(zhuǎn)速為 12,000 RPM(基于100mm硅片)。
Veeco 的 EPIK® 868 是 LED 業(yè)界最高性能的金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOCVD,可實現(xiàn)出色的均勻性和可重復(fù)性,以及低缺陷率。Veeco 提供了一系列 GaN 和 As/P 金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積 (MOCVD) 系統(tǒng),提高吞吐量,同時降低包括顯示器、3D 傳感、LiDAR、微型 LED 顯示器和光學(xué)數(shù)據(jù)通信在內(nèi)的各種應(yīng)用的擁有成本。
laurell的H6-23型的勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,具有先進(jìn)的功能,設(shè)計為最容易安裝在手套箱中的旋涂機(jī)。這款 650 系列 HL 涂布機(jī)系統(tǒng) 將 可容納最大 150mm 晶圓和 5 英寸 × 5 英寸 (127mm×127mm)基板, 最大轉(zhuǎn)速為 12,000 RPM (基于ø00mm硅片)。