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GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺中經(jīng)濟、最靈活的簇狀工具系統(tǒng),允許多達三個可配置的、特定于材料的生長模塊。這使得系統(tǒng)利用率高,允許多個研究人員同時使用該系統(tǒng),并在無人值守的情況下進行生長和校準。這與 Veeco 組件技術相結合,是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關鍵因素,無論應用是什么。
GENxplor® R&D MBE系統(tǒng)獲得了化合物半導體制造的CSindustry獎,采用Veeco成熟的3英寸生長室設計,并具工藝靈活性,非常適合UV LED、高效太陽能電池和高溫超導體等新興技術的材料研究。其高效的單框架設計將所有真空硬件與機載電子設備相結合,使其比其他 MBE 系統(tǒng)小 40%,從而節(jié)省寶貴的實驗室空間。
Laurell的WS-1000MH系列微型濕法勻膠工作臺適用于更狹小的空間和較小的預算。這個簡單的工作站被提煉出真正的濕式工作站必須具備的精髓,以實現(xiàn)最大的經(jīng)濟性。
Laurell的WS-1000系列濕法勻膠工作臺的配置和測試模塊建造和運輸安裝時間短。易于裝載和操作,所有物品都讓操作員方便地觸及。
Laurell的EDC-650-15B型勻膠機結構緊湊,具有先進的功能。這款650系列EDC系統(tǒng)將可容納高達300mm的晶圓和9英寸×9英寸(229mm×229mm)基板。雖然這個系統(tǒng)有12,000RPM的能力帶真空壓緊裝置,建議僅用于3,000RPM和非真空吸盤。